| Детектируемый газ |
Диапазон
|
Тип датчика
|
| Аммиак NH3 |
0-75 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Пентахлорид сурьмы SbCl5* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Пятифтористый мышьяк AsF5* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Арсин AsН3 |
0-1 ppm
0-0,2 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трихлорид бора BCl3* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трифторид бора BF3* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Бром Br2* |
0-1 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Окись углерода CO |
0-75 ppm
0-150 ppm
0-300 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Хлор Cl2 |
0-1,5 ppm
0-3 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трехфтористый хлор ClF3* |
0-0,6 ppm
0-1 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Горючие газы |
0-100% LEL
|
GD-A8
|
| Диборан B2H6* |
0-0,3 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Дихлорсилан SiH2Cl2* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Дисилан Si2H6* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Фтор F2* |
0-3 ppm
0-5 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Водород H2 |
0-2000 ppm
|
GD-V77D
|
| Бромоводород HBr* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Хлористый водород HCl |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Фтористый водород HF* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Иодоводород HI* |
0-5 ppm
|
GD-K77D
|
| Сероводород H2S |
0-1 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Иод I2* |
0-1 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Изофталевая кислота CH3CHOHCH3 (IPA)* |
0-2000 ppm
|
GD-A8V
|
| Фтористый молибден MOF4* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Окись азота NO |
0-100 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Двуокись азота NO2 |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трехфтористый азот NF3 |
0-30 ppm
|
GD-K8DG, GD-K77DG
|
| Тетраокисел азота N2O4* |
0-15 ppm
|
GD-K77D
|
| Кислород O2 |
0-25 об.%
|
GD-F77D
|
| Озон O3* |
0-0,6 ppm
0-1 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Фосфин PH3 |
0-1 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Оксихлорид фосфора POCl3* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Пентафторид фосфора PF5* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трихлорид фосфора PCl3* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трифторид фосфора PF3* |
0-10 ppm
|
GD-K77D
|
| Силан SiH4 |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Тетрахлорид кремния SiCl4* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Тетрафторид кремния SiF4* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Двуокись серы SO2 |
0-30 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Четырехфтористая сера SF4* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Фтористый тантал TaF5* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Тетраэтил ортосиликата Si(OC2H5)4 (TEOS) |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Четыреххлористый цинк ZnCl4* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Фтористый титан TiF4* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Четыреххлористый титан TiCl4* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Трихлормоносилан SiHCl3* |
0-15 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| Триметоксил бора B(OCH3)3 (TMB)* |
0-500 ppm
|
GD-S8DG, GD-S77DG
|
| Триметил фосфата P(OCH3)3 (TMP)* |
0-100 ppm
|
GD-S8DG, GD-S77DG
|
| Шестифтористый фольфрам WF6* |
0-9 ppm
|
GD-K77D, SC-90
|
| 1,1,1 - трихлорэтан С2H3Cl3* |
0-2000 ppm
|
GD-A8V
|
|
